晶瑞股份购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台，已搬入公司高端光刻胶研发实验室[图]

1月19日晚间，晶瑞股份发布公告称，经公司多方协商、积极运作，顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，公司将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。

该型号光刻机可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。该型号光刻机为十年前的产品，本是中国第一批浸没式光刻机，由无锡SK海力士购入。不过之后由于SK海力士工厂起火，更换了制程，这些设备又被运到韩国。现在，其中一台设备又被晶瑞股份购得。

苏州晶瑞化学股份有限公司关于购买光刻机设备进展情况的公告

资料来源：公司官网、 整理

苏州晶瑞化学股份有限公司量产光刻胶近30年，组建了国内领先的光刻胶研发团队，具有丰富的光刻胶研发和生产经验，先后承担了国家“85”攻关、“863”重大专项、科技部创新基金等科技项目、承担了国家02重大专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目，并顺利通过国家02重大专项验收。

2019年晶瑞股份营业收入为7.56亿元，利润总额为0.46亿元；2020年前三季度晶瑞股份营业收入为7.14亿元，利润总额为0.77亿元。

2015-2020年前三季度晶瑞股份营业收入及利润总额

资料来源：公司官网、 整理

公司完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，达到0.15μm的分辨率。本次购买的ASML光刻机设备系公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。