溅射靶材

摘要：全球范围内，由于日本、美国等发达国家在靶材领域起步较早，产业链较为完整，具备规模化生产能力，因此在靶材行业中占据了较大的市场份额。根据SEMI数据显示，预计全球溅射靶材市场规模将从2022年的57.9亿美元增长至2025年的69.8亿美元，复合增长率为6.4%；中国溅射靶材市场规模将从2022年的12.2亿美元增长至2025年的20.3亿美元，复合增长率为18.0%。近年来，中国政府大力支持多项科技创新计划和产业升级政策，推动了国内靶材行业的发展。随着中国靶材企业持续扩大生产规模、提高产品质量和技术水平，其在全球靶材市场中的地位不断提升。

一、定义及分类

溅射靶材是PVD（物理气相沉积）领域内应用量最大的镀膜材料。溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用荷能粒子（通常是离子），在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的粒子束流，轰击固体表面，粒子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基板表面，被轰击的固体即为溅射靶材。溅射靶材按化学成分分为金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材等。

二、行业政策

1、主管部门和监管体制

溅射靶材行业的主管部门为中华人民共和国工业和信息化部，自律组织为中国电子材料行业协会和中国光学光电子行业协会。

工信部主要职责为拟订实施行业规划、产业政策和标准；制定并组织实施工业、通信业的行业规划、计划和产业政策，提出优化产业布局、结构的政策建议，起草相关法律法规草案，制定规章，拟订行业技术规范和标准并组织实施，指导行业质量管理工作；拟订高技术产业中涉及新材料等的规划、政策和标准并组织实施，指导行业技术创新和技术进步；组织实施有关国家科技重大专项，推进相关科研成果产业化，推动软件业、信息服务业和新兴产业发展。

中国电子材料行业协会是由从事电子材料行业相关的企事业单位和社会组织自愿结成的全国性、行业性社会团体。协会主要职责为进行电子材料相关行业调查，向政府提出行业发展规划的建议；协助政府部门推动本行业的质量管理和监督，推动标准的贯彻执行和产品质量的提高；帮助企业开拓市场，积极开展国内外经济技术合作与交流活动；围绕规范市场秩序，加强行业自律工作；经政府有关部门批准，组织新产品鉴定、科研成果评审等。

中国光学光电子行业协会是全国从事光学光电子科研、生产和教学的企、事业单位自愿组合的，民政部批准法人资格的社会团体。协会主要职责为开展光学光电子行业市场调查，向政府提出行业发展规划的建议；进行市场预测，向政府和会员单位提供信息；组织会员单位开拓国际国内市场，组织国际交流，开展国际合作，推动光学电子行业发展与进步等。协会按专业领域下设七个分会：液晶分会、发光二极管显示应用分会、光电器件分会、光学元件与仪器分会、激光分会、红外分会、激光应用分会。

2、行业相关政策

溅射靶材是用于制备薄膜材料的重要材料，广泛应用于电子、光电、磁性等领域。中国政府一直高度重视溅射靶材的研发和生产，并采取了一系列措施来促进其发展。2023年8月，工信部等七部门印发《有色金属行业稳增长工作方案》，提出针对铜、铝、镍、锂、铂族金属等紧缺战略性矿产，加大国内勘查开发力度。培育铜、锂、镍、钨、锑等重要有色金属产业链“链主”企业，从资源配置、品牌价值、创新能力、国际化程度等方面与世界一流企业对标对表，提升企业综合竞争力。围绕集成电路材料等战略方向，培育一批专精特新“小巨人”企业、单项冠军企业。通过这些措施，中国政府旨在加强溅射靶材及原材料的自主研发能力和市场竞争力，以满足国内外需求，并推动中国在相关领域的发展。

三、发展历程

中国溅射靶材行业起步相对较晚，长期以来一直依赖进口。然而，在国家相关政策的支持下，中国的溅射靶材产业得到了快速发展，并且国产化速度也在加快。在20世纪80年代初，我国开始引入溅射镀膜技术，应用于相关玻璃制品中。20世纪90年代，我国开始研究溅射靶材的国产化技术。在21世纪初，我国溅射靶材产业进入快速发展阶段，行业内优秀企业增多。在2005年，第一块国产半导体工业应用溅射靶材在江丰电子的生产线上诞生，填补了国内溅射靶材工艺的空白。由于我国溅射靶材长期依赖进口，国家出台相应政策支持溅射靶材国产化。在2020年，我国工程院院士材料学专家何季麟带领团队成功研制出高性能ITO溅射靶材，实现了高端ITO靶材从0到1的突破。同年重庆大学刘庆教授团队研制超高纯金属靶材项目，让我国芯片拥有高端靶材。核心技术的突破加快我国溅射靶材行业发展，促进我国成为全球溅射靶材市场的重要力量。

四、行业壁垒

1、技术壁垒

中国溅射靶材行业在技术方面存在一定的壁垒。首先，溅射工艺本身属于高精密度的薄膜制备技术，对设备、工艺流程和操作要求非常高。要掌握溅射靶材的制备技术，需要具备相应的专业知识和经验。其次，溅射靶材涉及多种材料和合金，对材料的纯度、均匀性和晶格结构等都有严格要求。这要求企业具备完善的材料研发和生产能力，以保证产品的质量和性能。

2、客户认证壁垒

高纯溅射靶材技术含量高，对于终端产品的品质和稳定性具有直接影响，因此客户在选择供应商时会进行严格的认证过程。下游客户对溅射靶材供应商的认证过程主要包括供应商初评、产品报价、样品检测、小批量试用、稳定性检测、批量生产等阶段，过程较为苛刻。新进入者需要在技术水平、产品质量、后续服务和供应价格等方面明显优于原有供应商，才有可能获得业务合作机会。这种认证过程通常需要较长的时间，涉及多个环节，但也是客户保证终端产品质量和稳定性的重要手段。

3、人才壁垒

高纯溅射靶材的研发和制造是一个需要大量高层次技术人才参与的复杂过程。这些技术人才需要具备深厚的专业背景和丰富的实践经验，以及复合型的专业知识结构和强大的学习能力。他们需要对高纯溅射靶材技术发展趋势有准确的把握，还需要在实际的工艺环境中积累长期的应用经验，同时还需要具备较强的学习能力，不断更新知识和技能，以保持竞争力。

五、产业链

1、行业产业链分析

溅射靶材产业链上游主要以原材料和生产设备为主，其中原材料包括金属、合金、陶瓷等原材料，金属原材料包括铜、铝、铬、镍、钽等，合金原材料包括镍铬合金、镍钴合金、镍铂合金、钨钛合金、铁钴合金等，陶瓷原材料包括ITO、二氧化硅、氧化硅、氧化锌、氧化钛等。设备包括提纯设备、喷涂设备和溅射机台；溅射靶材中游主要为靶材生产制造环节；溅射靶材下游应用于半导体、平板显示、光伏、信息存储、光学应用等领域。溅射靶材产业链如下图所示：

2、行业领先企业分析

（1）宁波江丰电子材料股份有限公司

宁波江丰电子材料股份有限公司成立于2005年，是一家专注于超大规模集成电路制造用超高纯金属材料及溅射靶材研发生产的企业。公司产品销售网络遍布欧洲、北美和亚洲各地，并广泛应用于国内外知名半导体、平板显示和太阳能电池制造企业。江丰电子所研发生产的超高纯金属溅射靶材完全满足了国内企业不断扩大的市场需求，在全球先进技术超大规模集成电路制造领域得到了批量应用。2023年前三季度，江丰电子营业收入为18.52亿元，同比增长9.84%；研发投入占营收的比例为6.26%，同比增加1.24个百分点。公司业绩表现良好。为了进一步巩固市场地位，江丰电子持续加大研发投入，并积极推进超高纯金属溅射靶材的扩产项目，加强在半导体精密零部件领域的战略布局。

（2）隆华科技集团（洛阳）股份有限公司

隆华科技集团（洛阳）股份有限公司成立于1995年，主要从事通用设备制造业。该公司旗下的电子新材料业务由丰联科光电、晶联光电和四丰电子承担，产品范围涵盖金属及合金靶材以及陶瓷靶材。丰联科光电是国内钼靶材市场的领军企业，其钼靶材在国内市场的占有率已超过50%。四丰电子则逐步替代进口，提供具有竞争力的钼靶材产品。晶联光电在ITO靶材领域取得了重要突破，打破了日韩技术壁垒，实现了国产ITO靶材的应用于TFT-LCD行业。2023年上半年，隆华科技电子新材料营业收入为2.04亿元，同比下降17.39%；其毛利率为18.11%，同比减少5.20个百分点。公司电子新材料业务承压，部分受上游原材料价格上涨，导致盈利水平下滑。公司强忍阵痛，继续解决国产ITO靶材卡脖子问题，逐步稳定供货于京东方、TCL等客户。随着靶材国产替代推进，公司溅射靶材有望进一步扩大市场份额。

六、行业现状

全球范围内，由于日本、美国等发达国家在靶材领域起步较早，产业链较为完整，具备规模化生产能力，因此在靶材行业中占据了较大的市场份额。据数据显示，日本日矿金属是全球最大的靶材供应商，市场份额高达30%；美国霍尼韦尔通过投资并购上游原材料生产厂后，市场份额升至20%；东曹和普莱克斯市场份额分别为20%和10%。全球靶材行业集中度较高，CR5约为80%。未来随着集成电路、太阳能电池、平面显示行业快速发展，将大幅拉动上游溅射靶材的需求量。

根据SEMI数据显示，预计全球溅射靶材市场规模将从2022年的57.9亿美元增长至2025年的69.8亿美元，复合增长率为6.4%；中国溅射靶材市场规模将从2022年的12.2亿美元增长至2025年的20.3亿美元，复合增长率为18.0%。在这样的市场环境下，中国靶材行业正在迅速崛起。近年来，中国政府大力支持多项科技创新计划和产业升级政策，推动了国内靶材行业的发展。随着中国靶材企业持续扩大生产规模、提高产品质量和技术水平，其在全球靶材市场中的地位不断提升。

七、发展因素

1、机遇

（1）政策扶持推动溅射靶材行业发展

中国政府一直以来都非常注重高科技产业的发展。为了推动溅射靶材行业的发展，政府出台了一系列政策措施。2016年，工信部等四部门印发《新材料产业发展指南》，明确要发展新一代信息技术产业用材料，包括高纯金属及合金溅射靶材生产技术研发。此后，高性能溅射靶材被列入《“十三五”材料领域科技创新专项规划》《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》《产业关键共性技术发展指南（2017年）》《新材料关键技术产业化实施方案》《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》等多项产业政策文件中。在中国政策的支持之下，中国溅射靶材行业的发展得到有利推动。

（2）技术进步提升中国溅射靶材产品质量和产能

随着国内科技水平不断提高，中国溅射靶材行业的技术水平也在不断提升。现在，国内的溅射靶材企业已经具备了独立研发和生产的能力，可以生产出一系列高品质、高性能的溅射靶材产品。同时，随着技术的进步，中国溅射靶材企业的产能也在不断提高。近年来，中国溅射靶材厂家先后投入了大量资金进行设备更新和工艺优化，加快了生产速度，提高了生产效率。这些技术进步为中国溅射靶材行业的发展提供了坚实的支撑。

（3）市场需求增长推动中国溅射靶材行业发展

从当前全球范围来看，集成电路、太阳能电池、平面显示等产品的需求量正在逐年增长。而这些产品都需要溅射靶材作为关键材料。据SEMI数据统计，未来几年内，全球溅射靶材市场规模将会持续扩大，并且中国溅射靶材市场规模的复合增长率还将高达18.0%。这意味着，中国溅射靶材企业有更多的机会涉足国际市场，同时也将带动国内的溅射靶材行业的产能提升和技术创新。因此，市场需求增长有助于推动中国溅射靶材行业的发展，提升其在全球靶材市场中的地位。

2、挑战

（1）高纯金属材料依赖进口采购

溅射靶材作为关键材料，在薄膜工业化制备中发挥着重要作用。其性能直接影响着最终产品的性能、质量和寿命，特别是在半导体集成电路、平面显示、太阳能电池等领域，对溅射靶材纯度要求极高。然而，目前中国在溅射靶材原材料领域仍面临一定程度的依赖进口的问题，尤其是高纯金属材料方面。这种依赖进口的局面在当前全球经济形势不稳定、国际贸易摩擦加剧的背景下，给中国溅射靶材行业的可持续发展带来了不确定性和风险。

（2）专业技术研发人才紧缺

溅射靶材行业是资金和技术密集型行业，这需要拥有专业的技术团队和顶尖的技术人才，以实现核心技术突破和生产工艺创新。然而，由于我国溅射靶材行业发展时间较短，技术水平相对较低，人才的培养周期较长，高端、专业和复合型人才的缺乏仍然十分紧缺。随着下游应用领域的快速发展和市场需求的持续扩大，对企业的研发创新能力要求也在不断提高。这就需要行业内的企业加大对人才的培养和引进，建立稳定的人才队伍。同时，需要加强与高校和科研机构之间的合作，吸纳更多的优秀人才参与到溅射靶材行业的研发和生产中来。这有助于提升行业的技术水平和创新能力，满足市场需求，推动整个行业的可持续发展。

（3）技术和设备水平相对滞后

中国溅射靶材行业在技术和设备方面虽然有一定进展，但与国际领先水平相比仍存在差距。一方面，国内溅射靶材企业在关键技术研发上相对薄弱，缺乏核心技术的自主创新能力。虽然已有一些技术突破和创新成果，但整体上还无法与国际先进水平媲美。与此同时，国内溅射靶材生产设备还存在一些问题，例如生产效率低、能耗高等。这些问题不仅制约了行业的发展速度，也增加了企业的生产成本。这些不利因素制约了中国溅射靶材行业的进一步发展。

八、竞争格局

目前中国溅射靶材行业主要生产低附加值的中低档产品，与国际知名企业相比，在高纯度靶材市场上的影响力有限。然而，由于受到国家战略的大力支持，中国本土专业从事靶材研发和生产的企业不断增加，如江丰电子、隆华科技、有研新材等。这些企业积极参与高端靶材国际化市场竞争。目前，中国已经实现了高纯钼靶材和ITO靶材的技术突破。借助中国本土资源优势，如高纯钼粉、高纯铟等原材料，中国具备了相对有竞争力的产业优势。因此，未来中国在高纯靶材供应本土化方面有望进一步加速，这些进展使得中国溅射靶材行业在高端市场上逐渐崭露头角。随着技术的不断发展和经验的积累，中国厂商有望提升在高纯度靶材市场的竞争力，并与国际知名企业展开更为激烈的竞争。

九、发展趋势

1、国产化进程加速，国内溅射靶材厂商迎来良好发展机遇

溅射靶材是各类薄膜材料工业化制备的关键材料，其纯度、致密度、品质等均会影响镀膜效率和成本，并对膜层性能、最终产品的质量和性能起着至关重要的作用。在受到国际局势动荡影响之下，国内溅射靶材产业链国产化趋势得到重视。通过加强对关键技术的研发投入，推进装备技术升级，注重开发新产品，中国溅射靶材企业可以提高自身的技术水平和市场竞争力。国内溅射靶材厂商进入下游知名制造厂商的供应体系，也为其提供良好的发展机遇，有助于快速缩小与国际大型厂商之间的差距。这样的发展趋势不仅有利于实现我国重点领域的自主可控，也有助于保障上游关键材料的供应安全，推动整个溅射靶材产业的健康发展。

2、上游溅射靶材和下游应用市场协同发展，实现产业联动

随着显示面板产能转移、半导体国产化进程加速以及太阳能电池市场的不断增长，国内厂商在下游应用市场中的份额不断提高。这得益于国内市场需求的拉动、国家政策的支持以及资本的引导扶持等多重因素的共同推动。国内下游产业的持续发展为本土溅射靶材厂商带来了巨大的机遇。通过上下游产业的协同发展，可以推动关键领域技术的突破。在溅射靶材工艺设计、薄膜性能分析以及终端产品制造环节，实现产业联动发展，从而增强国内溅射靶材和下游显示面板、半导体集成电路以及太阳能电池厂商的全球竞争力。

3、下游应用领域发展升级，提高溅射靶材技术和性能要求

随着新技术和产品的不断推出，下游应用领域如平面显示、半导体集成电路和太阳能电池等持续发展升级。消费者对于显示屏的性能要求也越来越高，目前市场上的LCD和OLED产品都在不断追求更清晰、更灵敏、更便携的特性。同时，半导体集成电路的发展也在遵循摩尔定律，制程已经进入到7纳米及更先进的阶段。高性能溅射靶材行业的发展与下游产业的市场需求和技术革新密切相关。随着终端用户需求的不断扩大，以及高性能薄膜材料和磁控溅射技术的快速发展，溅射靶材正朝着高纯度、大尺寸、高密度、高溅射速率和高利用率等方向迅速发展。